Índice

• BEGINN
• Vorwort
• Inhaltsverzeichnis
• 1 Ein kurzer Streifzug durch die Geschichte
• 2 Physikalische Plasmen und technische Gasentladungen – ein Überblick
• 3 Plasmaphysikalische Grundlagen
• 3.1 Physikalische Statistik und kinetische Gastheorie
• 3.2 Elementarprozesse im Plasma
• 3.3 Transportprozesse im Plasma
• 3.4 Kollektive Wechselwirkungen
• 3.5 Ladungsträgerbewegung
• 3.6 Plasmastrahlung
• 3.7 Herleitung wichtiger Grundformen des Plasmas
• 3.8 Plasmaeigenschaften
• 4 Theorie der Gasentladungen
• 5 Stationäre Gasentladungen
• 6 Nichtstationäre Gasentladungen
• 7 Generierung und Anwendungen technischer Gasentladungen
• 7.1 Koronanentladungen
• 7.2 Glimmentladungen
• 7.3 Funkenentladungen
• 7.4 Lichtbögen
• 7.5 Gleichstrom-Plasmaerzeuger
• 7.6 Kapazitiv gekoppelte Entladungen
• 7.7 Induktiv gekoppelte Entladungen
• 7.8 Mikrowellenenplasmen
• 7.9 Teilchenstrahlen
• 7.10 Zyklotron-Resonanzquellen
• 8 Technische Oberflächen und Oberflächentechnik
• 9 Schwerpunkte der Oberflächentechnik im Überblick
• 10 Verfahren der plasmagestützten Oberflächenmodifikation
• 11 Verfahren der plasmagestützten Randschichtmodifikation
• 11.1 Plasmadiffusionsverfahren
• 11.2 Ionenimplantation
• 12 Plasmaspritzen
• 12.1 Begriffe und Einteilungen
• 12.2 Ablauf des Plasmaspritzprozesses
• 12.3 Plasmaspritzschichten
• 12.4 Markt und ökonomische Aspekte
• 13 Auftragsschweißen und -löten
• 14 Plasmadünnschichttechnologien
• 14.1 PVD und CVD-Verfahren – ein Überblick
• 14.2 PVD-Verfahren
• 14.3 CVD-Verfahren
• 14.4 Ionenplattieren
• 14.5 Anwendungen dünner Schichten und Beispiele
• 14.6 Markt und ökonomische Aspekte
• 15 Abtragende Plasmaverfahren
• 16 Oberflächenanalytik
• 16.1 Übersicht
• 16.2 Prüfung thermischer Spritzschichten
• 16.3 Prüfung dünner Schichten
• 16.4 Prüfung modifizierter Randschichten
• 17 Plasmaanalytik
• 17.1 Diagnostik am und im thermischen Plasma
• 17.2 Diagnostische Verfahren für Niederdruckplasmen
• 18 Verzeichnis verwendeter Symbole und Konstanten
• 19 Literatur
• 20 Auswahl wichtiger Normen und Richtlinien
• 21 Stichwortverzeichnis