GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration
Beiträge des 8. GMM-Workshops 15. – 17.09.2020, Online-Veranstaltung
Diese Publikation zitieren
VDE/VDI GMM (Hg.), GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration (2020), VDE Verlag, Berlin, ISBN: 9783800753277
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Beschreibung / Abstract
Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen
Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
• elektronische Komponenten verkleinern,
• neue Funktionalitäten ermöglichen,
• Eigenschaften wesentlich verbessern,
• Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
• den Energiebedarf senken,
• und bei der Systemintegration und der AVT helfen.
Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:
• Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
• Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
• Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
• Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
• Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?
Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.
Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
• elektronische Komponenten verkleinern,
• neue Funktionalitäten ermöglichen,
• Eigenschaften wesentlich verbessern,
• Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
• den Energiebedarf senken,
• und bei der Systemintegration und der AVT helfen.
Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:
• Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
• Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
• Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
• Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
• Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?
Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.
Inhaltsverzeichnis
- GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration
- Titelseite
- Impressum
- Vorwort
- Die Mitglieder des GMM-Fachausschusses 4.7„Mikro-Nano-Integration“
- Inhalt
- 1 Concept for two-dimensional TMDs as Functional Layer for Gas Sensing Applications
- 2 Anwendung von metallischen Feldemittern basierend auf Mikro-Nano-Integration in der kryogenen Vakuummessung
- 3 Vitalitätsuntersuchung adhärenter Stammzellen auf nano-strukturierter Silicium-Oberfläche
- 4 MEMS based speakers – sounds good?!
- 5 Study on TiAlOx as high-k dielectric for MISHEMTs
- 6 Combining Nanoimprint Lithography and Nanowire Contact Printing on a Single Platform
- 7 Strukturierung von großflächig abgeschiedenen Übergangsmetall-Dichalkogenid Filmen für den Einsatz in der 2D-Elektronik
- 8 Design mehrstufiger ballistischer Injektionsgleichrichter auf Si/SiGe-Heterostrukturen
- 9 Kraft- und Wegsensor zur Nanoindentierung
- 10 Laserinduzierte periodische Oberflächenstrukturen auf Basis von Molybdänsiliziddünnschichten
- 11 Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern
- 12 Growth of site- and polarity-controlled GaN nanowires on Silicon for high-speed LEDs
- 13 Single-Photon Avalanche Diode (SPAD)-basiertes Sensorsystem zur Messung der Fluoreszenzlebensdauer von funktionalisierten Silica-Nanopartikeln
- 14 Integrierte Mikrotransformatoren auf Silizium für Hochfrequenzanwendungen
- 15 Detektion und Auswertung von papierbasierten mikrofluidischen Systemen per Smartphone
- 16 Resistive Switching Behavior of Lateral and Vertical MoS2 Devices
- 17 Tuning Acoustic Sensing Properties of MEMS Cantilever by Nonlinear Operation
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