Inhaltsverzeichnis

• BEGINN
• Vorwort
• Die Autoren dieses Buches
• Inhaltsverzeichnis von Teil I und Teil II
• Inhaltsverzeichnis von Teil II
• 1 Grundlagen
• 1.1 Vakuumtechnische Grundlagen
• 1.2 Plasmatechnische Grundlagen
• 1.3 Grundlagen der vakuumtechnischen Schicht-herstellung und Oberfl ächenmodifizierung
• 1.4 Grundlagen optischer Schichten
• 1.5 Oberflächen- und Dünnschichtcharakterisierung
• 2 Verfahren
• 2.1 Beschichten durch Verdampfen
• 2.2 Schichtherstellung durch Sputtern
• 2.3 Plasmaunterstützte chemische Dampfphasen-abscheidung
• 2.4 Plasmapolymerisation
• 2.5 Ätzen mittels Plasmen
• 2.6 Modifi zieren und Beschichten von Polymeroberflächen
• Inhaltsverzeichnis von Teil II
• 3 Anwendungen
• 3.1 Optische Schichten
• 3.2 Architekturglasbeschichtung
• 3.3 Wärmedämmverglasungen im Automobilbau
• 3.4 Großfl ächige industrielle Mikrowellen-plasmabeschichtung für die Fotovoltaik
• 3.5 Thermische Sonnenkollektoren
• 3.6 Fotokatalytische Schichten
• 3.7 Schichtsysteme für die Datenspeicherung und ihre industrielle Herstellung
• 3.8 Flachbildschirme und Displays
• 3.9 Reibungs- und verschleißmindernde Schichten
• 3.10 Plasmaunterstützte Diffusionsverfahren zur Randschichtbehandlung von Metallen
• 3.11 Beschichtung von Getränkefl aschen aus Kunststoff
• 3.12 Dekorative vakuumtechnische Beschichtung
• 3.13 Herstellung von Bauteilen für die Mikrofluidik
• 3.14 Niederdruckplasmaprozesse in der Aufbau-und Verbindungstechnik
• 3.15 Feinreinigung von Oberflächen mit Niederdruckplasmen
• 3.16 Plasmaprozesse zur Beeinfl ussung der Biokompatibilität von Oberflächen
• 3.17 Antimikrobielle Oberfl ächen durch Plasmabehandlung
• 3.18 Plasmabehandlung von Textilien und Fasern
• 3.19 Beschichtung und Funktionalisierung von Pulvern
• 3.20 Beschichtungen zur Sicherung der elektro-magnetischen Verträglichkeit elektronischer Geräte
• 4 Technologien und Nachhaltigkeit
• 4.1 Nachhaltigkeit als gesellschaftliche Notwendigkeit
• 4.2 Nachhaltigkeitskriterien und -management
• 4.3 Nachhaltigkeitsaspekte bei vakuum- und plasmarelevanten Produktionsprozessen
• 4.4 Nachhaltigkeitsmanagement für die Vakuum-und Plasmatechnologie
• 4.5 Nachhaltigkeitsbetrachtung zu vakuum- und plasmatechnologisch hergestellten Produkten
• Literatur
• Stichwortverzeichnis
• Inserentenverzeichnis